更新時間：2026-01-11
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 汽車制造
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 計量校準(zhǔn)
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 過程工藝氣體測量
● 工業(yè)爐窯
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 量程可控比1%-100%
● 響應(yīng)時間快，100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置128種常規(guī)及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了128種氣體，請參考背面
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM
量程可控比 1%-100%
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
高 精 度 ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)
（從校準(zhǔn)壓力開始）
控制響應(yīng)時間（T63） 用戶可調(diào)， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms
顯示響應(yīng)時間 用戶可調(diào)， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms
預(yù)熱時間 ＜ 1 s
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
閥門功能 常閉型
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 100 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓
最di操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)
極限耐壓 1.1 MPa 表壓
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）
電氣接口 DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業(yè)接頭等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn)）
可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼
過程連接 詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
滿量程質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
0.5 sccm - 50 sccm | 1.0 | 4.4''H ×3.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）3 |
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.6''H ×3.6''W ×1.1''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 |
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
50 slpm | 2.0 | 5.7''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
100 slpm | 3.2 | ||
250 slpm | 2.4 | 6.0''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 |
500 slpm | 6.5 | 6.0''H ×7.3''W ×2.3''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋） |
1000 slpm | 14.0 | ||
2000 slpm | 28.6 | 6.0''H ×8.1'W ×2.9''D | |
3000 slpm | 16.8 | 6.0''H ×8.9''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
5000 slpm | 14.1 | 7.0''H ×9.8''W ×4.5''D | 2''NPT內(nèi)螺紋 |
1、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容； 2、Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋。 | |||
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