更新時間：2026-01-11
ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計控制器21VS系列，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。
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ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計控制器21VS系列
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計量校準(zhǔn)
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計控制器21VS系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度 優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100：1
● 響應(yīng)時間快 僅需100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了128種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 100:1
最大顯示流量：102.4%FS
顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
閥門泄漏率 不超過1x10 atm scc/sec (He)
重 復(fù) 性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
響應(yīng)時間 100ms 預(yù)熱時間：<1s
標(biāo)定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
20℃ & 100kPa 絕壓
0 ℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度 -10 ～ +50 ?C
工作濕度 0-100%,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力 1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
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