更新時間：2026-01-11
ALICAT 氣體質量流量計20系列，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
免費咨詢：021-59966206
ALICAT 氣體質量流量計
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導 體
● 汽車制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質量流量計
產品特色
● 數(shù)字化產品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優(yōu)于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM
測量范圍 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 % 滿量程
顯 示 屏 帶背光燈按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角
± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復 性 ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）
響應時間 優(yōu)于10 ms （與流量相關）
預熱時間 < 1 s
默認標況（STP） 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95%，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）
最di操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPa以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
最大進出口壓差 0.5MPa
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、
DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）
供電電流 40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準壓力開始）
選項配件
● 標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內置30種氣體可選
200:1量程可調比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
● 可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
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